产品名称：11 轴运动控制接口模块产品简介：Gasonics 自动化传输系统专用运动控制模块，支持 11 轴伺服 / 步进电机控制，实现晶圆传输、升降、旋转、定位的高精度协同运动。技术规格
- 控制轴数：11 轴
- 接口：脉冲 / 方向 + 编码器反馈
- 供电：24V DC
- 通信：RS-232 / 现场总线
- 定位精度：±0.01 mm功能特点
- 多轴同步运动，轨迹平滑
- 支持点位、连续、回零模式
- 限位、急停、碰撞保护
- 运动参数可编程存储
- 适配 Gasonics 晶圆传输系统应用场景
- 半导体晶圆自动上 / 下料
- 等离子设备内部精密传输
- 真空环境下机械臂控制
- 自动化生产线精密定位
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 