产品名称：9 路模拟量采集与控制模块产品简介：用于 Gasonics 设备的模拟信号采集与输出模块，实现压力、流量、功率、真空度等模拟量的高精度采集与闭环控制。技术规格
- 模拟输入：9 路，0–10V / 4–20mA
- 模拟输出：9 路，0–10V / 4–20mA
- 分辨率：16 位
- 精度：±0.1% F.S.
- 隔离：通道间电气隔离功能特点
- 多路模拟信号同步采集与处理
- 支持闭环控制算法嵌入
- 信号滤波与线性校准
- 抗干扰强，适配工业现场
- 兼容 Gasonics 主控系统应用场景
- 真空度、压力、流量实时监测
- 射频功率、温度闭环控制
- 工艺参数采集与数据记录
- 自动化设备模拟量扩展
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 