产品名称：10 点工艺参数监控与报警模块产品简介：Gasonics 高端等离子设备的工艺参数集中监控单元，实时采集 10 路关键工艺参数，超限报警并触发安全保护，保障工艺一致性与设备安全。技术规格
- 监控参数：功率、流量、压力、真空、温度等
- 通道数：10 路
- 采样频率：100 ms / 次
- 报警输出：声光 + 远程信号
- 数据存储：支持历史曲线与事件记录功能特点
- 多参数实时监控，异常快速响应
- 多级报警阈值，分级保护
- 工艺曲线可视化，便于分析
- 支持与 MES 系统对接
- 故障追溯与统计分析应用场景
- 半导体先进制程工艺监控
- 等离子刻蚀、去胶、清洗设备
- 高端真空工艺设备安全监控
- 生产线工艺质量管控
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 