产品名称：射频功率信号采集与调理模块产品简介：专为 Gasonics 射频等离子系统设计的高精度信号处理模块，负责对射频电源的正向功率、反射功率、电压、电流等关键参数进行实时采集、滤波、放大与线性化处理，为系统控制与保护提供精准数据。技术规格
- 适用频段：13.56MHz
- 测量范围：正向功率 0–3000W，反射功率 0–500W
- 测量精度：±1.5% F.S.
- 信号输出：0–10V 模拟量、RS-485 数字信号
- 供电：24V DC
- 工作温度：0–50℃
- 防护等级：IP20功能特点
- 高精度信号采集，抗电磁干扰能力强
- 内置多级滤波，消除噪声与杂波干扰
- 支持信号线性校准与温度补偿
- 实时数据上传，支持远程监控
- 具备信号异常检测与报警功能应用场景
- 射频等离子刻蚀、去胶、清洗设备
- 半导体晶圆射频工艺系统
- 等离子体源功率监测与控制
- 射频匹配网络状态诊断
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 