产品名称：多通道气体压力监测与控制模块产品简介：Gasonics 等离子设备专用气体压力控制单元，集成多路压力传感器与 PID 控制器，实现对工艺气体、吹扫气体、冷却气体的压力实时监测与闭环调节，保障气路系统稳定运行。技术规格
- 通道数：4 路独立压力监测与控制
- 压力范围：0–10bar
- 控制精度：±0.05bar
- 传感器类型：压阻式高精度传感器
- 输出控制：模拟量、继电器
- 通信：RS-485、设备总线功能特点
- 多路压力同步监测，数据实时显示
- 独立 PID 闭环控制，调节响应迅速
- 超压、欠压多级保护，异常自动切断
- 支持压力曲线记录与历史数据查询
- 耐腐蚀设计，适配腐蚀性工艺气体应用场景
- 等离子刻蚀、沉积、清洗工艺气路控制
- 半导体设备气体供给系统稳压
- 真空腔体气氛压力精确调节
- 实验室特种气体压力监控
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 