产品名称：真空计信号转换与控制模块产品简介：用于 Gasonics 真空系统的信号接口模块，负责将皮拉尼、冷阴极、热阴极等不同类型真空计的输出信号转换为标准模拟量或数字信号，并实现真空度超限报警与真空阀联动控制。技术规格
- 兼容真空计：皮拉尼、冷阴极、热阴极
- 真空测量范围：大气压–10⁻⁷ Torr
- 信号输出：0–10V、4–20mA、RS-485
- 控制输出：继电器、真空阀驱动信号
- 供电：24V DC
- 工作温度：-10–60℃功能特点
- 多类型真空计信号自适应转换
- 真空度实时显示与数据记录
- 多级真空阈值报警，支持声光提示
- 真空异常自动联锁，保护设备安全
- 模块化设计，安装与维护便捷应用场景
- 半导体等离子设备真空系统
- 高真空镀膜、键合、退火设备
- 科研实验室真空监测与控制
- 真空设备自动化配套
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 