• 产品名称：气体流量控制电缆
• 产品简介：该电缆是专门用于半导体制造设备中气体流量控制器与主控制系统之间连接的专用电缆，负责传输气体流量控制信号以及相关数据，确保气体流量能按照工艺要求精准调节，是保障半导体工艺中气体供应精准性的重要部件。
• 技术规格
  • 电缆采用 4 芯屏蔽线设计，每芯导体截面积为 0.35mm²，满足信号传输与供电需求。
  • 额定电压为 30V DC，额定电流为 2A，适配气体流量控制器的工作参数。
  • 传输频率范围为 0-1MHz，信号衰减小于 0.5dB/m，保证信号传输的完整性。
  • 防护等级为 IP65，具备良好的防尘、防水性能，适应半导体制造的洁净环境。
• 功能特点
  • 屏蔽层采用镀锡铜编织网，屏蔽效率高，能有效降低外界电磁干扰对信号传输的影响。
  • 电缆外皮采用耐化学腐蚀材料，可抵御半导体制造中常用的各类腐蚀性气体与化学物质的侵蚀。
  • 信号传输精度高，误差小于 0.1%，确保气体流量控制的准确性。
  • 安装便捷，配备专用的快速连接接头，可快速完成安装与拆卸。
• 应用场景：主要应用于半导体制造的气体输送系统，适配于化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、刻蚀等工艺设备中的气体流量控制器，保障工艺过程中反应气体、载气等的流量精准控制，从而保证晶圆的沉积、刻蚀等工艺质量。