• 产品名称：石英舟（Quartz Boat）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中用于承载晶圆进行热处理的核心部件，由高纯石英材料制成，具备优良的耐高温、耐腐蚀性能，适配特定尺寸的晶圆，保障晶圆在热处理过程中的位置稳定与受热均匀。
• 技术规格
  • 材质：高纯石英，纯度达 99.999%，减少杂质对晶圆的污染。
  • 适配晶圆尺寸：200mm，可承载 25 片晶圆，适配批量热处理工艺。
  • 耐高温温度：1200℃，可承受半导体高温热处理工艺环境。
  • 热膨胀系数：5.5×10^-7/℃，在高温环境下不易变形。
  • 表面粗糙度：Ra≤0.1μm，减少对晶圆表面的损伤。
• 功能特点
  • 采用精密加工工艺，晶圆卡槽尺寸精准，保障晶圆的位置稳定，防止热处理过程中晶圆偏移。
  • 具备优良的热稳定性，在高温与低温交替变化时，不易发生变形与破裂。
  • 化学稳定性高，可抵御半导体热处理工艺中的气氛侵蚀，保障自身性能稳定。
  • 重量轻，便于操作人员装卸晶圆，提升工作效率。
• 应用场景：主要应用于应用材料的 RTP 设备、氧化炉、扩散炉等半导体热处理设备中，在晶圆的氧化、扩散、退火等工艺过程中，承载晶圆，保障晶圆的受热均匀与位置稳定。