产品名称：射频信号滤波模块产品简介：射频电源系统专用滤波单元，滤除杂波与干扰，保证射频功率纯净、稳定传输。技术规格
- 工作频段：13.56MHz/2MHz（标准）
- 插入损耗：≤0.5dB
- 隔离度：≥60dB
- 耐压：≥5kV
- 功率容量：≥5kW
- 接口形式：N 型 / 7/16" 射频接头功能特点
- 高效滤除射频谐波与电磁干扰
- 低插入损耗，保证射频功率传输效率
- 高隔离度，避免信号串扰
- 耐高压、耐高温，适配恶劣工况
- 标准化设计，兼容主流射频电源应用场景
- PECVD、RIE、ICP 等射频驱动制程设备
- 半导体射频电源输出端滤波
- 设备射频系统抗干扰优化
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 