产品名称：腔体温度采集传感器组件产品简介：高精度温度监测传感单元，实时采集腔体、基座与工艺部件温度，为工艺控制提供精准数据。技术规格
- 传感器类型：PT1000 铂电阻 / 热电偶
- 测量范围：-50℃～1000℃（按类型）
- 精度等级：±0.1℃（PT1000）
- 响应时间：≤30ms
- 输出信号：4～20mA/0～10V
- 防护等级：IP65（真空侧）
- 线缆长度：1m～5m（定制）功能特点
- 宽温域高精度测量，长期稳定无漂移
- 抗干扰设计，适配电磁复杂环境
- 快速响应，实时反馈温度变化
- 耐腐蚀，适配真空与化学环境
- 兼容原厂控制系统，即插即用应用场景
- 半导体真空腔体、加热基座温度监控
- PVD、CVD、Etch 设备温度闭环控制
- 晶圆制程工艺参数精准监测
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 