产品名称：射频电源信号反馈板产品简介：射频电源系统专用信号采集与反馈板卡，用于实时监测射频功率、反射功率、频率、阻抗等参数，并将信号传输至控制系统。技术规格
- 频率范围：13.56MHz、2MHz、400kHz
- 功率监测范围：10W～10kW
- 测量精度：±1%
- 输出信号：0～10V、4～20mA
- 隔离电压：≥3kV
- 工作电压：24VDC功能特点
- 实时采集射频关键参数，数据精准
- 高隔离设计，防止高压干扰控制系统
- 快速响应，支持闭环功率调节
- 具备过功率、驻波保护信号输出
- 稳定性高，适应连续生产工况应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 射频电源系统
- 射频匹配网络控制单元
- 半导体射频制程功率监控系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 