产品名称：真空机械手伺服控制驱动模块产品简介：半导体晶圆真空传输机械手专用伺服驱动模块，负责多轴运动控制、定位、速度调节，保证机械手高速、平稳、精准运行。技术规格
- 控制轴数：2～4 轴
- 通信接口：EtherCAT、RS485
- 定位精度：≤0.005 mm
- 工作电压：48 VDC
- 响应时间：≤2 ms
- 保护功能：过流、过压、过载、过热保护功能特点
- 多轴同步运动控制，运行轨迹平滑无抖动
- 高动态响应，提升晶圆传输效率
- 实时位置反馈，定位精准可靠
- 内置故障自诊断，支持远程监控与维护
- 兼容 AMAT 标准机械手平台，通用性强应用场景
- 300mm/200mm 晶圆真空传输系统
- Load Lock、Transfer Module 机械手驱动
- 半导体自动化产线晶圆搬运单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 