产品简介：半导体设备专用高可靠直流供电模块，为控制系统、传感器、阀岛、驱动器等提供稳定、低纹波、宽范围直流电源，保障设备供电安全与运行稳定性。技术规格
- 输入电压：交流 100–240VAC，50/60Hz 全兼容
- 输出电压：24VDC/12VDC/5VDC 多组可选，电流 0–20A
- 输出精度：≤±0.5%，纹波噪声≤30mV
- 保护功能：过流、过压、过温、短路、反接全保护
- 效率：≥92%，低发热，强制风冷散热功能特点
- 宽电压输入，适应厂区电网波动
- 低纹波低噪声，不干扰精密控制与信号采集
- 多重保护机制，保障设备与负载安全
- 内置智能温控，散热高效，运行稳定
- 符合半导体设备安全标准，适配 Class 100 洁净室应用场景
- 半导体设备主机柜、I/O 柜、传感器盒供电
- 机械手、流量计、真空规、温控器等部件供电
- 全系列半导体工艺设备与检测设备供电系统
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 