产品名称高纯气体管路接头组件产品简介该组件为半导体气路系统专用连接接头，用于管路、阀门、过滤器、质量流量控制器之间的高强度密封连接，保证气路无泄漏、无污染、无死角。技术规格
- 材质：316L EP/BA 级高纯度不锈钢
- 连接形式：双卡套 / 面密封结构
- 耐压：中高压气体管路标准
- 表面粗糙度：Ra≤0.38μm
- 尺寸规格：1/4"、3/8"、1/2" 标准管径
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性气体、真空功能特点
- 连接牢固，密封可靠，零泄漏
- 内壁光滑，无气体滞留，易吹扫
- 耐腐蚀，适配多种危险工艺气体
- 重复拆装性能稳定，不损伤管路
- 安装简单，定位精准
- 符合半导体高洁净气路标准应用场景
- 工艺气体输送管路连接
- MFC、阀门、过滤器接口
- 刻蚀、CVD、ALD 设备气路系统
- 高纯气体管道工程
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 