产品名称真空系统角阀执行器组件产品简介该组件是半导体真空管路角阀的驱动执行单元，用于控制角阀的开启与关闭，实现真空管路的通断控制，保障真空系统稳定运行与安全切换。技术规格
- 驱动类型：气动 / 电动复合驱动
- 控制方式：远程信号控制 / 本地手动控制
- 响应时间：毫秒级快速响应
- 工作压力：适配真空与中压气体环境
- 密封性能：高密封，无泄漏
- 防护等级：真空与洁净室兼容
- 安装方式：标准角阀接口安装功能特点
- 驱动稳定可靠，开关动作精准
- 响应速度快，实现快速通断控制
- 支持远程自动控制与本地手动操作
- 密封性能优异，长期使用无泄漏
- 抗腐蚀，适配真空与工艺气体环境
- 结构紧凑，适配狭小管路空间应用场景
- 半导体真空管路角阀驱动控制
- 真空系统通断与安全切换
- 刻蚀、沉积、清洗设备真空管路
- 高真空、高洁净工艺环境
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 