GE 0090-04266 是由 GE 旗下 VMIC 系列设计的 6U VME 单板计算机，专为 Applied Materials 半导体工艺设备配套。板卡以高可靠性和实时控制能力著称，可直接替换 Centura、Endura、Producer 等平台的原有 CPU 板，实现无缝升级。
技术规格
• 处理器：800 MHz Pentium 级 CPU
• 内存：512 MB 板载 SDRAM
• 存储接口：CompactFlash 或 DOM 插座，用于本地操作系统与应用程序镜像
• 通信接口：
– 双路 10/100 Mbit 以太网（RJ45）
– RS-232 / RS-485 串口
– USB 1.1 主机端口
– PMC 扩展槽，可插 I/O 或运动控制子卡
• 电源需求：5 V DC ±5 %、12 V DC ±10 %，由 VME 背板统一供电
• 工作温度：0 °C ～ 60 °C（工业风冷环境）
• 机械尺寸：6U VME 标准，233 mm × 160 mm
• 三防涂层：标准洁净室级敷形涂层，抗腐蚀、防潮
• 处理器：800 MHz Pentium 级 CPU
• 内存：512 MB 板载 SDRAM
• 存储接口：CompactFlash 或 DOM 插座，用于本地操作系统与应用程序镜像
• 通信接口：
– 双路 10/100 Mbit 以太网（RJ45）
– RS-232 / RS-485 串口
– USB 1.1 主机端口
– PMC 扩展槽，可插 I/O 或运动控制子卡
• 电源需求：5 V DC ±5 %、12 V DC ±10 %，由 VME 背板统一供电
• 工作温度：0 °C ～ 60 °C（工业风冷环境）
• 机械尺寸：6U VME 标准，233 mm × 160 mm
• 三防涂层：标准洁净室级敷形涂层，抗腐蚀、防潮
功能特点
• 实时控制与数据采集：支持等离子体、CVD、PVD、刻蚀等工艺模块的毫秒级控制
• 冗余网络：双以太网口支持主/备网络架构，提高通信可靠性
• 看门狗与温控：板载看门狗定时器和温度传感器，实现故障预警与预测性维护
• 热插拔 CF 卡：现场可快速更换系统镜像，便于软件升级与版本回退
• 金手指边缘连接：高可靠性抗振动、抗热循环设计，保障长期无故障运行
• 实时控制与数据采集：支持等离子体、CVD、PVD、刻蚀等工艺模块的毫秒级控制
• 冗余网络：双以太网口支持主/备网络架构，提高通信可靠性
• 看门狗与温控：板载看门狗定时器和温度传感器，实现故障预警与预测性维护
• 热插拔 CF 卡：现场可快速更换系统镜像，便于软件升级与版本回退
• 金手指边缘连接：高可靠性抗振动、抗热循环设计，保障长期无故障运行
应用场景
• Applied Materials Centura、Endura、Producer 等工艺平台晶圆加工控制
• 半导体厂务自动化：子 fab 及 mini-environment 控制器
• 老旧 6U VME 系统改造：无需修改机械结构或软件接口即可替换原 CPU 板
• 晶圆检测、量测、离子注入等需要确定性 I/O 时序的 OEM 设备
• Applied Materials Centura、Endura、Producer 等工艺平台晶圆加工控制
• 半导体厂务自动化：子 fab 及 mini-environment 控制器
• 老旧 6U VME 系统改造：无需修改机械结构或软件接口即可替换原 CPU 板
• 晶圆检测、量测、离子注入等需要确定性 I/O 时序的 OEM 设备
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