产品名称:高精度线性马达驱动模组 / 运动控制组件
产品简介:ASM 4552200 是 ASM Pacific Technology(ASMPT)为其高端半导体固晶机(Die Bonder)系列专门设计的高精度线性马达驱动模组,作为 ASM AD838、AD839、AD830 等主流封装设备的核心运动部件,负责实现晶圆拾取与放置过程中的超高速、超高精度定位。该组件采用先进直驱技术,消除了传统滚珠丝杆传动中的背隙和摩擦。
技术规格
- 制造商:ASM Pacific Technology(ASMPT)
- 产品型号:4552200
- 产品类别:线性马达模组 / 精密致动器组件
- 适用设备:ASM AD838、AD839、AD830 系列固晶机
- 系列归属:ASM High-Precision Motion Series
- 驱动类型:直线电机驱动(Linear Motor Drive)
- 定位精度:±1.5 μm(典型值,取决于具体校准)
- 重复定位精度:±0.5 μm
- 工作电压:24 V DC / 48 V DC(伺服驱动供电)
- 接口类型:专用高密度航空插头 / 编码器反馈接口
- 通信协议:ASM 私有实时运动控制协议
- 工作温度:10℃ 至 40℃(洁净室环境)
- 防护等级:IP40(内部组件,需安装于机台内)
- 安装方式:螺栓固定于机器底座或龙门架
- 材质:高强度铝合金基座 + 陶瓷/复合材料导轨
功能特点:直驱技术消除背隙与摩擦,高速往复运动仍保持微米级定位稳定性;作为核心运动部件承担晶圆拾取与放置的超高速、超高精度定位。
应用场景:半导体封装设备(AD838、AD839、AD830 系列固晶机)的核心驱动;表面贴装技术(SMT)及精密电子组装领域的运动控制。
使用注意事项:仅作为设备内部组件安装于机台内(IP40);需在 10℃ 至 40℃ 洁净室环境下工作;安装时螺栓固定于机器底座或龙门架;依赖专用高密度航空插头与编码器反馈接口。





Acromag 651T-0600
R.STAHL 80701-1-HR311
ZYGO 8070-0279-01
BETA LASERMIKE 8000-306