产品名称：Zygo ZMI系列四轴激光干涉位移测量板

产品简介：ZMI-4104是ZYGO ZMI计量电子板，插入VME机箱配合氦氖/稳频激光源和干涉仪，用于纳米级位移解算。单板四轴同步，多板可扩展到大轴数系统，面向光刻、半导体和运动平台闭环计量。

技术规格：6U VME64x板卡；4个独立测量轴；位置分辨率0.15 nm；最大测量速度±2.55 m/s；最高速度下σ精度约0.2 nm；最小接收光功率0.07 μW；兼容Zygo 7705/7702/7714/7724等激光源；资料供电有+5 V@3.5 A和24 V±10%两种不同版本表述，以原厂该批次手册为准。

功能特点：干涉信号解调、实时位移解算、循环误差补偿、板载自检、状态指示；VME64x背板数据传输；多板级联可扩展到64轴；光纤光学输入，适配长距离光路。

应用场景：晶圆光刻工件台、纳米定位平台、精密光学装调、科研超精密三坐标、半导体设备闭环反馈。

性能参数：工作温度0至50℃，精密测量推荐15至35℃且控温稳定；存储-40至70℃；湿度5-95%无凝露；防护IP20机柜内；EMC按EN 61326-1类工业计量资料。

材质构成：6U VME多层PCB，光纤接收组件，FPGA/DSP解算电路，铝合金面板与阻燃壳体。

结构特征：标准6U VME插卡，前面板状态灯，后部光纤与VME背板连接器，可与其他ZMI板共用机箱电源与时钟。

工作原理：干涉仪返回两路正交光学信号，板卡光电转换后计数/相位解算，结合激光波长、环境补偿和循环误差模型输出位移；多轴共享VME时钟实现同步。

安装要求：装入符合VME64x的6U机箱，激光源、光纤衰减、环境温湿度先标定；多板扩展统一背板时钟与地址；供电按该批次+5 V或24 V要求单独配。

使用注意事项：光纤接头防污，光功率低于0.07 μW会丢步；波长与空气折射率补偿参数按现场温压湿输入；不同ZMI-2001/2002单双轴与4104四轴不混插固件；精密环境避免振动和强气流。