产品名称：工艺腔升降台 / 负载锁升降台产品简介：精密机电升降台总成，用于 Gasonics Aura A2000LL 及 Novellus 等离子系统，在真空腔或负载锁内实现晶圆或工艺部件的垂直定位。技术规格：
- 类型：24V 直流伺服驱动升降台
- 行程：适用于 200mm 晶圆
- 定位精度：±0.01mm
- 控制接口：工业运动控制器
- 结构：不锈钢、铝合金，真空兼容材料功能特点：
- 高精度垂直定位
- 运行平稳无振动，避免晶圆损伤
- 集成位置传感器，闭环控制
- 高循环、高可靠真空环境设计应用场景：半导体制造设备，用于在负载锁与工艺腔之间升降晶圆，保证等离子处理过程中的精准对位。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 