产品名称：负载锁升降台总成产品简介：精密机电升降系统，用于 Gasonics Aura A‑2000LL 等离子去胶机负载锁腔室内晶圆垂直定位。技术规格：
- 类型：伺服驱动线性升降台
- 行程：适配 200mm 晶圆
- 定位精度：±0.02mm
- 驱动：48V 直流伺服电机 + 编码器
- 适用设备：Gasonics Aura A‑2000LL功能特点：
- 高精度垂直定位
- 运行平稳无振动
- 集成位置反馈，闭环控制
- 真空兼容材料应用场景：在负载锁入口与工艺腔接口间垂直传送晶圆，实现真空等离子处理系统中安全精准的晶圆传输。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 