产品名称：负载锁升降台位置传感器组件产品简介：非接触式光学传感器组件，用于检测 Gasonics Aura A‑2000LL 系统中负载锁升降台位置，为升降控制与安全联锁提供关键反馈。技术规格：
- 检测原理：反射式光学（LED / 光电三极管）
- 检测距离：10–100mm
- 输出：5V TTL 兼容数字信号
- 环境：真空兼容、洁净室等级
- 外壳：316L 不锈钢功能特点：
- 高灵敏度检测升降台位置
- 抗环境光与工艺辐射干扰
- 真空环境密封结构
- 响应快、易校准安装应用场景：安装在负载锁腔体内，监测晶圆升降台垂直位置，确保精准定位并在负载锁循环中触发安全联锁。
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 