产品名称：负载锁接口电路板（旧版）产品简介：负载锁接口板的旧版本，功能与 A89‑030‑01 完全一致，用于早期 Gasonics Aura A‑2000LL 系统。技术规格：
- 功能：负载锁系统控制与接口
- 通讯：数字 I/O、模拟传感器集成
- 供电：24V 直流
- 适用设备：Gasonics Aura A‑2000LL（旧版）功能特点：
- 实现全部核心负载锁控制功能
- 可直接与 A89‑030‑01 机械电气互换
- 在传统半导体生产环境中验证可靠
- 支持所有标准负载锁工作模式应用场景：用于早期 Gasonics 等离子去胶机中控制负载锁运行，保证晶圆传输与真空完整性。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 