产品名称:高纯度气体压力调节器产品简介:高精度压力调节器,用于 Gasonics 气体分配系统中控制高纯度工艺气体输送压力,确保气流稳定。技术规格:
- 功能:高纯度气体压力调节
- 入口压力:最高 1000 PSIG
- 出口压力:0–100 PSIG
- 精度:设定值 ±1%
- 材质:316L 电解抛光不锈钢
- 密封:Kalrez 全氟醚弹性体
- 接口:1/4" VCR 面密封接头功能特点:
- 超高纯度结构,无气体污染
- 压力输出稳定,不受入口波动影响
- 内置过压保护
- 低出气率,高真空兼容应用场景:用于气体输送系统,精确调节等离子腔所需反应气体与惰性气体压力,保证等离子工艺稳定。




Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003
Gasonics 908-061N-R
Gasonics 90-2650
Gasonics 95-0296C