产品名称：高纯度气体压力调节器产品简介：高精度压力调节器，用于 Gasonics 气体分配系统中控制高纯度工艺气体输送压力，确保气流稳定。技术规格：
- 功能：高纯度气体压力调节
- 入口压力：最高 1000 PSIG
- 出口压力：0–100 PSIG
- 精度：设定值 ±1%
- 材质：316L 电解抛光不锈钢
- 密封：Kalrez 全氟醚弹性体
- 接口：1/4" VCR 面密封接头功能特点：
- 超高纯度结构，无气体污染
- 压力输出稳定，不受入口波动影响
- 内置过压保护
- 低出气率，高真空兼容应用场景：用于气体输送系统，精确调节等离子腔所需反应气体与惰性气体压力，保证等离子工艺稳定。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 