产品名称：负载锁升降台分度控制模组产品简介：Gasonics A‑2000LL 负载锁系统核心控制单元，负责升降台垂直运动与旋转分度定位。技术规格：
- 控制功能：升降、旋转分度、到位检测
- 升降行程：50mm
- 分度精度：±0.5°
- 驱动接口：伺服驱动 + 编码器反馈
- 通讯：RS‑485
- 供电：24V 直流功能特点：
- 升降与分度联动控制
- 闭环位置反馈
- 真空系统联锁保护
- 过载与防坠设计应用场景：负载锁单元内，实现晶圆在传输线与机械臂抓取位之间精准输送。
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Gasonics 04630-003
2026-03-06 13:45 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 04630-003
品牌Gasonics
型号04630-003
价格电议
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