产品名称：铝制压板穿通法兰（已停产）产品简介：精密加工铝合金法兰，用于工艺腔压板内电气 / 机械连接的真空密封穿通，已由 16207‑01 替代。技术规格：
- 材质：6061‑T6 铝合金
- 功能：真空穿通密封
- 密封形式：Conflat 金属密封槽
- 耐压：高真空 10⁻⁷ Torr
- 适用设备：Gasonics L3510 等早期机型功能特点：
- 精密加工，真空密封无泄漏
- 导热性好，利于压板温控
- 耐腐蚀工艺气体
- 已停产，替换件 16207‑01应用场景：用于早期 Gasonics 等离子腔，在保持高真空前提下引出信号线或冷却管路。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 