产品名称：高纯度石英等离子腔内衬产品简介：精密成型熔融石英内衬，用于 Gasonics 等离子处理腔内壁保护，防等离子腐蚀与金属污染。技术规格：
- 材质：99.99% 熔融石英
- 耐温：最高 1200℃
- 适配：Gasonics L3510、Aura 系列
- 表面：电解抛光，低颗粒物产生功能特点：
- 超高纯度，无晶圆污染
- 耐氧等离子、氟基等离子腐蚀
- 低出气率，真空稳定
- 精密尺寸，完美贴合腔体应用场景：安装于等离子去胶 / 刻蚀腔内部，保护腔体、延长寿命、保证工艺纯度。
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Gasonics 06-0091
2026-03-06 13:46 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 06-0091
品牌Gasonics
型号06-0091
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