产品名称:机械臂位置控制电路板产品简介:专用控制板,管理 Gasonics Aura A‑2000LL 晶圆传输机械臂的精准定位与运动轨迹。技术规格:
- 功能:机械臂运动控制
- 处理器:高速 DSP
- I/O:编码器反馈、伺服控制输出
- 通讯:RS‑485功能特点:
- 亚毫米级定位精度
- 平滑加减速,防晶圆损伤
- 实时防撞逻辑
- 自带诊断 LED应用场景:执行复杂晶圆传输动作,确保 200mm 晶圆在负载锁与工艺腔间精准移动。
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产品Gasonics 06764-002
品牌Gasonics
型号06764-002
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