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Gasonics 16383-01/16384-01

2026-03-06 13:50 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics 16383-01/16384-01

品牌Gasonics

型号16383-01/16384-01

价格电议

质保一年

电话 15359273790

详情介绍

产品名称：工艺腔内衬套件

产品简介：高纯度石英内外衬套装，用于 Gasonics L3510 等离子去胶机腔壁保护。

技术规格：

材质：99.99% 熔融石英
耐温：最高 1200℃
适配：L3510 腔体
功能特点：
超高纯度
耐等离子腐蚀
低出气率
精密配对
应用场景：腔体内壁防护，延长设备寿命，保持光刻胶去除工艺纯度。

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