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Gasonics 653B-2-50-2

2026-03-06 14:01 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics 653B-2-50-2

品牌Gasonics

型号653B-2-50-2

价格电议

质保一年

电话 15359273790

详情介绍

产品名称：高速排气节流阀

产品简介：精密电动节流阀，用于控制 Gasonics 等离子腔排气流量与压力。

技术规格：

类型：高速电动节流阀
通径：KF‑50
压力范围：真空～15 psig
响应时间：1.7 秒全行程
材质：316L、Kalrez 密封
功能特点：
响应极快
微步控制，压力调节精准
零漂移，长期稳定
真空密封结构
应用场景：等离子腔排气管路，动态调节腔压，保证光刻胶灰化、刻蚀工艺稳定一致。

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