产品名称:负载锁升降台总成(升级版)产品简介:04290‑101 升级版,由 Asyst 生产,控制电子与机械结构强化,可靠性更高。技术规格:
- 类型:进阶伺服升降台
- 适配:200mm 晶圆
- 定位精度:±0.01mm
- 控制板:810‑2140‑005A
- 结构:硬化不锈钢功能特点:
- 定位精度高于老款 04290‑101
- 热稳定性更强
- 电机控制优化,运动更快更平滑
- 维护更少
- 可直接互换应用场景:高产量半导体制造,要求高 uptime 的晶圆传输。
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产品Gasonics 853-4290-101
品牌Gasonics
型号853-4290-101
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