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Gasonics 95-027-03

2026-03-06 14:07 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics 95-027-03

品牌Gasonics

型号95-027-03

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称：晶圆顶针组件（V3）

产品简介：三顶针精密机械组件，用于工艺腔内部顶起晶圆，V3 强化耐用性与精度。

技术规格：

材质：高纯度氧化铝陶瓷
顶针直径：3mm
升降行程：15mm
驱动：气动气缸 + 线性轴承
精度：±0.02mm
适用：Aura A‑2000LL、L3510
功能特点：
陶瓷材质无污染
运动顺滑低摩擦
机械强度高不易断
安装校准简单
应用场景：工艺腔内将晶圆顶离静电卡盘，方便机械臂取放晶圆。

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