产品名称:负载锁后面板显示总成(R‑C 版)产品简介:Aura A‑2000LL 负载锁后面板专用显示单元,提供实时状态监控与诊断。技术规格:
- 显示:LED、数码管
- 指示:压力、温度、门状态、进程
- 接口:直连负载锁控制器 A90-003-01
- 外壳:不锈钢真空兼容
- 版本:R‑C 增强固件
- 适用:Aura A‑2000LL功能特点:
- 高亮指示快速判断
- 直观故障码
- 坚固工业环境适用
- 直接替换老款
- 可靠性提升应用场景:负载锁后部显示压力、门联锁、进程,保证晶圆大气 — 真空安全高效传输。
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产品Gasonics A95-107-01-R-C
品牌Gasonics
型号A95-107-01-R-C
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