产品名称:单轴超高精度伺服控制器产品简介:单轴专用精密 AWD-D 控制器,面向纳米级定位需求的单轴机构,专注极致定位精度与稳定性。技术规格:
- 控制轴数:单轴
- 定位分辨率:纳米级
- 适配电机:无刷直流伺服
- 工作电压:48V DC
- 保护:过流、过压、过载、过速功能特点:
- 极低抖动、极低定位误差
- 自适应控制算法,长期运行不漂移
- 支持闭环实时修正
- 适合对精度要求极高的工位应用场景:用于 Gasonics 精密定位台、检测工位、微调平台,确保晶圆在关键工艺中位置绝对精准。
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分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-1-5-2-004
品牌Gasonics
型号AWD-D-1-5-2-004
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质保一年
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