产品名称：工艺腔体温度控制模块（Process Chamber Temperature Control Module）产品简介：专为 Gasonics 等离子工艺腔体设计的温度控制模块，实现腔体温度精准调节、监测与保护，确保等离子工艺过程温度稳定，保障工艺均匀性与重复性。技术规格
- 功能：腔体温度监测、PID 调节、加热 / 冷却控制、超温保护
- 适配机型：Gasonics Aura、PEP 系列工艺腔体
- 控温范围：室温–300℃，控温精度 ±0.5℃
- 控制方式：PID 闭环控制，支持加热 / 冷却双模式
- 接口：温度传感器输入、加热 / 冷却执行器控制输出功能特点
- 高精度 PID 算法，实现腔体温度快速稳定控制
- 实时监测腔体温度，超温自动报警并切断加热
- 自适应调节，适配不同工艺温度需求
- 抗干扰能力强，适配等离子腔体复杂电磁环境
- 模块化设计，便于安装、调试与维护应用场景
- 等离子灰化、刻蚀腔体的温度精准控制
- 半导体晶圆制造中，保障工艺温度均匀性与重复性
- 设备升级，提升腔体温度控制精度，优化工艺性能
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 