产品名称：负载锁（Load Lock）控制模块产品简介：Gasonics 等离子设备负载锁系统的专用控制模块，负责负载锁真空 / 大气切换、压力控制、晶圆传输协调与安全互锁，实现晶圆在大气与真空环境间的高效、安全传输。技术规格
- 功能：负载锁压力控制、真空 / 大气切换、传输协调、安全互锁
- 适配机型：Gasonics Aura 2000LL、3000 系列负载锁系统
- 控制范围：压力调节范围 10⁻⁷ Torr–1 atm
- 接口：数字 I/O、模拟量控制、真空计 / 阀组通信接口
- 安全机制：多重互锁保护，防止误操作导致晶圆损坏功能特点
- 精准压力闭环控制，实现快速、稳定的真空 / 大气切换
- 与晶圆传输系统无缝协同，提升传输效率
- 完善的安全互锁逻辑，保障设备与晶圆安全
- 实时监测负载锁状态，具备故障诊断与报警功能
- 模块化设计，便于维护与替换应用场景
- Gasonics 等离子设备负载锁系统的核心控制单元
- 半导体晶圆制造中，晶圆进出真空腔体的自动化控制
- 设备维护，替换故障模块，保障负载锁系统稳定运行
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 