产品名称：压力 / 流量传感器模块（Pressure/Flow Sensor Module）产品简介：集成式高精度压力与流量监测模块，用于 Gasonics 设备气体输送系统与真空腔体，实时采集工艺气体压力、流量数据，为系统控制提供精准反馈。技术规格
- 功能：气体压力测量、质量流量监测、信号输出
- 测量范围：压力 0–1000 Torr，流量 0–10 SLM（标准升 / 分钟）
- 精度：压力测量精度 ±0.5% FS，流量测量精度 ±1% FS
- 输出信号：4–20mA 模拟信号、RS-485 数字信号
- 材质：接液部分为 316L 不锈钢，适配腐蚀性工艺气体功能特点
- 双参数集成测量，简化系统结构
- 高精度、高稳定性，长期漂移小
- 快速响应，实时反馈工艺参数变化
- 抗干扰能力强，适配工业电磁环境
- 模块化设计，便于安装与校准应用场景
- Gasonics 设备工艺气体输送系统的压力 / 流量监测
- 真空腔体压力实时监控，保障真空工艺稳定性
- 半导体制造中，气体流量精准控制与工艺参数追溯
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 