产品名称：射频匹配网络控制板（RF Match Network Control Board, Rev. C）产品简介：Gasonics 等离子设备射频匹配网络的专用控制电路板，实现射频阻抗自动匹配、功率调节与反射功率保护，保障等离子体稳定激发与高效运行。技术规格
- 功能：射频阻抗匹配控制、功率调节、反射功率保护
- 适配机型：Gasonics Aura、PEP 系列等离子设备
- 控制范围：覆盖 13.56MHz 标准工业射频频段
- 调节精度：阻抗匹配精度≤±1%，响应时间≤10ms
- 保护机制：内置过压、过流、驻波比（VSWR）保护电路功能特点
- 全自动阻抗匹配，适应等离子负载动态变化
- 快速响应，确保射频功率高效传输至腔体
- 实时监测反射功率，保护射频发生器与腔体安全
- 支持手动 / 自动模式切换，适配不同工艺需求
- 兼容 Gasonics 原厂射频发生器，即插即用应用场景
- 等离子灰化、刻蚀设备的射频匹配网络控制
- 半导体晶圆制造中，射频等离子工艺的功率稳定控制
- 设备升级，替换旧版控制板，提升匹配效率与工艺稳定性
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 