产品名称：高纯度气体过滤器组件（High-Purity Gas Filter Assembly）产品简介：用于 Gasonics 设备工艺气体输送系统的高精密过滤器，去除气体中的颗粒杂质、微量污染物，保障工艺气体纯度，避免晶圆污染与设备故障。技术规格
- 功能：工艺气体颗粒过滤、杂质去除
- 过滤精度：0.003μm，过滤效率≥99.9999%
- 适配气体：氧气、氮气、氩气、CF₄等半导体工艺气体
- 材质：滤芯为聚四氟乙烯（PTFE），壳体为 316L 不锈钢
- 连接方式：VCR 面密封接头，实现零泄漏连接功能特点
- 超高过滤精度，满足半导体工艺超纯气体要求
- 低流阻设计，保障气体流量稳定
- 化学兼容性强，适配多种腐蚀性工艺气体
- 模块化设计，便于更换滤芯，维护便捷
- 洁净室级包装，安装前无二次污染应用场景
- Gasonics 等离子设备工艺气体输送系统的终端过滤
- 半导体晶圆制造中，保障工艺气体纯度，提升良率
- 气体输送系统维护，替换老旧过滤器，保障气体质量
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 