产品名称：晶圆传输臂组件（Wafer Transfer Arm Assembly）产品简介：Gasonics 等离子设备内部晶圆自动传输的核心机械组件，实现晶圆在负载锁、工艺腔体、缓冲工位间的精准、平稳传输，保障晶圆传输效率与安全性。技术规格
- 功能：晶圆抓取、传输、定位
- 适配晶圆：150mm/200mm 半导体晶圆
- 传输精度：重复定位精度 ±0.1mm
- 材质：手臂主体为铝合金，接触部分为陶瓷 / 石英
- 驱动：伺服电机驱动，闭环位置控制功能特点
- 高精度传输，避免晶圆偏移与碰撞
- 平稳运行，无振动，保护晶圆表面
- 兼容真空与大气环境，适配设备内部复杂工况
- 模块化设计，便于安装、调试与维护
- 长寿命设计，适配半导体生产线高负荷运行应用场景
- Gasonics 等离子设备内部晶圆自动化传输
- 半导体晶圆制造中，光刻胶灰化、刻蚀等工艺的晶圆流转
- 设备维护，替换磨损传输臂，保障传输系统稳定性
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 