产品名称：运动控制板产品简介：高性能运动控制 PCB，用于 Gasonics 半导体设备晶圆传输与定位系统，执行复杂运动轨迹。技术规格
- 功能：多轴运动控制器
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列晶圆传输系统
- 接口：高速数字通信
- 定位精度：亚微米级功能特点
- 先进轨迹规划，运动平滑无振动
- 实时闭环位置控制
- 运动异常、限位故障检测应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 晶圆传输机器人运动控制
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机传输系统定位
- 150mm/200mm 晶圆处理运动控制
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 