产品名称：石英等离子工艺腔体产品简介：高纯度石英腔体，用于 Gasonics 半导体设备等离子处理，化学惰性、无污染环境，适合光刻胶去除、刻蚀。技术规格
- 功能：等离子工艺反应腔体
- 适用设备：Gasonics 等离子灰化机、刻蚀机
- 材质：高纯度熔融石英
- 适用晶圆：150mm/200mm功能特点
- 优异抗等离子化学腐蚀
- 腔体材料零污染
- 热稳定性好，工艺条件一致
- 内壁光滑，少产尘应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机等离子腔体
- PEP 系列介质刻蚀反应腔体
- 半导体厂工艺纯度保障
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 