产品名称:增强型负载锁压力控制模块产品简介:升级版负载锁压力控制模块,性能与可靠性更高,压力调节更优、周期更快、产能更高。技术规格
- 功能:增强型负载锁压力调节模块
- 适用设备:Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 控制:高速闭环算法
- 接口:增强型数字通信功能特点
- 压力控制精度更高
- 压力稳定速度显著提升
- 高级故障检测、系统保护应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 高性能负载锁控制
- PEP 系列高吞吐负载锁压力管理
- 晶圆传输效率最大化
全国服务热线
15359273790
技术过硬,据实报价
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-1-0-020-008
品牌Gasonics
型号AWD-D-1-0-020-008
价格电议
质保一年
电话 15359273790