产品名称：负载锁压力控制模块产品简介：专用控制模块，用于 Gasonics 半导体设备负载锁压力精确调节，管理抽气、放气、压力稳定，实现高效晶圆传输。技术规格
- 功能：负载锁压力调节控制模块
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 量程：全真空至大气压
- 控制：闭环快速响应功能特点
- 压力控制精确
- 晶圆传输周期压力稳定快
- 安全联锁，压力边界保护应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 负载锁压力控制
- PEP 系列负载锁子系统压力管理
- 晶圆传输真空完整性保障
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Gasonics AWD-D-1-0-020-007
2026-03-06 15:58 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-1-0-020-007
品牌Gasonics
型号AWD-D-1-0-020-007
价格电议
质保一年
电话 15359273790
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 