产品名称：腔体位置传感器组件产品简介：高精度传感器组件，用于 Gasonics 半导体设备腔体部件位置精确监测，提供门、升降、挡板实时反馈。技术规格
- 功能：腔体部件非接触式位置传感
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列
- 技术：高分辨率光学编码器功能特点
- 定位精度极高
- 响应快速
- 非接触，寿命长、少维护应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体位置监测
- PEP 系列腔体门、升降控制
- 腔体对齐关键部件
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Gasonics AWD-D-3-1-5-005
2026-03-06 15:57 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-3-1-5-005
品牌Gasonics
型号AWD-D-3-1-5-005
价格电议
质保一年
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