产品名称：晶圆传输机器人接口模块产品简介：专用接口模块，实现晶圆传输机器人与 Gasonics 半导体设备之间通信控制，确保负载锁、工艺腔体之间晶圆精准可靠传输。技术规格
- 功能：机器人 - 系统通信控制接口
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 接口：高速数字通信总线功能特点
- 实时机器人位置反馈、运动控制
- 无缝对接晶圆传输时序
- 安全联锁，防止晶圆损伤应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 机器人接口控制
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机晶圆传输管理
- 晶圆传输可靠性保障
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 