产品名称：晶圆顶针组件产品简介：精密晶圆顶针组件，用于 Gasonics 半导体工艺腔体内晶圆垂直定位，升降精准可重复。技术规格
- 功能：晶圆垂直升降定位组件
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列
- 材质：高纯度陶瓷或石英
- 结构：多顶针阵列，均匀支撑功能特点
- 均匀支撑，不翘曲
- 材料无污染，洁净室兼容
- 垂直运动平滑无振动应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体晶圆升降
- PEP 系列刻蚀机精密顶升
- 工艺均匀性关键部件
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Gasonics 02-20-01
2026-03-06 15:59 已有人浏览 小编
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产品Gasonics 02-20-01
品牌Gasonics
型号02-20-01
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