产品名称:晶圆顶针组件产品简介:精密晶圆顶针组件,用于 Gasonics 半导体工艺腔体内晶圆垂直定位,升降精准可重复。技术规格
- 功能:晶圆垂直升降定位组件
- 适用设备:Gasonics Aura、PEP 系列
- 材质:高纯度陶瓷或石英
- 结构:多顶针阵列,均匀支撑功能特点
- 均匀支撑,不翘曲
- 材料无污染,洁净室兼容
- 垂直运动平滑无振动应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体晶圆升降
- PEP 系列刻蚀机精密顶升
- 工艺均匀性关键部件
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产品Gasonics 02-20-01
品牌Gasonics
型号02-20-01
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