产品名称：SCR 功率控制板组件产品简介：专用 PCB 组件，用于 Gasonics 半导体设备可控硅功率开关电路控制，管理射频发生器、等离子系统大功率供电。技术规格
- 功能：SCR 大功率开关控制模块
- 适用设备：Gasonics 射频等离子发生器系统
- 接口：模拟控制输入、大功率输出
- 版本：Rev.04功能特点
- 精确相角控制，功率调节平滑
- 快速响应功率需求变化
- 过流、过压保护应用场景
- Gasonics Aura、PEP 系统射频发生器功率控制
- 等离子点火、维持电路大功率开关
- 稳定等离子条件关键部件
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 