产品名称:系统接口控制器板产品简介:双料号印刷电路板组件,作为 Gasonics 半导体设备各子系统之间主接口控制器,协调主控制器、运动系统、工艺模块通信。技术规格
- 功能:中央系统接口、通信控制器
- 适用设备:Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 接口:多总线通信功能特点
- 集中管理全系统通信路径
- 实时数据交互
- 高级故障检测、通信错误处理应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机核心接口控制
- PEP 系列介质刻蚀系统中央通信枢纽
- 全系统协同关键部件
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分类其它品牌
产品Gasonics A90-003-01 A89-003-01
品牌Gasonics
型号A90-003-01 A89-003-01
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