产品名称：主系统控制器板组件产品简介：核心 PCB 组件，作为 Gasonics Aura A-2000LL 200mm 光刻胶灰化机中央控制单元，管理整机运行、工艺时序、子系统通信。技术规格
- 功能：中央系统控制与协调
- 适用设备：Gasonics Aura A-2000LL 200mm 光刻胶灰化机
- 接口：多路数字、模拟 I/O功能特点
- 实时协调全系统运行、工艺时序
- 精确控制等离子、气体、晶圆传输
- 集成故障检测、系统保护应用场景
- Gasonics Aura A-2000LL 光刻胶灰化机中央控制单元
- 200mm 晶圆光刻胶去除工艺协调
- 半导体厂全系统一致性保障
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 