产品名称：高精度射频匹配网络模块产品简介：专用射频阻抗匹配网络，用于 Gasonics 半导体设备射频发生器与等离子腔体之间最佳功率传输，确保等离子高效点火、稳定运行。技术规格
- 功能：射频阻抗匹配、功率传输优化
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列
- 频率：标准等离子射频频段功能特点
- 自动阻抗匹配，功率传输效率最高
- 快速响应等离子负载变化
- 等离子环境稳定运行应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机射频匹配
- PEP 系列刻蚀机腔体阻抗匹配
- 稳定等离子条件关键部件
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 